管道污染物檢測(cè)在航空、海運(yùn)、醫(yī)藥和其它關(guān)領(lǐng)域具有相當(dāng)重要的意義。這種能力有利于預(yù)測(cè)設(shè)備的潛在故障，確定運(yùn)行狀況，并及時(shí)維護(hù)和預(yù)測(cè)使用壽命。然而，現(xiàn)有的方法大多是離線(xiàn)操作的，因?yàn)樵诰€(xiàn)可檢測(cè)的參數(shù)相對(duì)單一。這種限制極大地阻礙了實(shí)時(shí)現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)和對(duì)設(shè)備狀態(tài)的全面評(píng)估。

據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道，針對(duì)上述問(wèn)題，西安交通大學(xué)的科研團(tuán)隊(duì)近日提出了一種可實(shí)現(xiàn)多參數(shù)油液在線(xiàn)監(jiān)測(cè)的集成式電磁感應(yīng)-微機(jī)械柔性超聲傳感器。

該方法在測(cè)量流速的同時(shí)能夠區(qū)分鐵磁性金屬顆粒、非鐵磁性金屬顆粒、非金屬顆粒和氣泡。微機(jī)械加工可以顯著減小傳感器的尺寸，而柔性襯底使安裝更加方便，增強(qiáng)聚焦聲場(chǎng)，從而提高檢測(cè)能力。這項(xiàng)研究成果已于近期發(fā)表在Microsystems & Nanoengineering期刊上。

圖1a闡述了檢測(cè)原理。管道內(nèi)裝有電磁感應(yīng)和柔性超聲波傳感單元。傳感單元由三個(gè)對(duì)稱(chēng)分布的線(xiàn)圈組成，兩側(cè)的兩個(gè)線(xiàn)圈采用反向交流激勵(lì)。同時(shí)，中間線(xiàn)圈利用電磁感應(yīng)效應(yīng)監(jiān)測(cè)穿過(guò)管道的金屬顆粒。此外，楔塊上貼附了柔性超聲貼片。如圖1d所示，不同污染物的電磁感應(yīng)信號(hào)和超聲信號(hào)可通過(guò)信號(hào)處理分別獲得。因此，將兩個(gè)傳感單元的時(shí)域信號(hào)相結(jié)合，就能區(qū)分磁性金屬、非磁性金屬、非金屬固體顆粒和氣泡。污染物類(lèi)型判定規(guī)則如圖1f所示。

圖1 集成式電磁感應(yīng)-微機(jī)械柔性超聲傳感器的工作原理圖2為微機(jī)械超聲柔性貼片的制備流程。圖3a為實(shí)驗(yàn)過(guò)程示意圖，圖3b為信號(hào)處理流程圖，圖3c為聲場(chǎng)測(cè)量示意圖，圖3d和圖3e分別為傳感器樣品和實(shí)驗(yàn)臺(tái)架。

圖2 微機(jī)械柔性超聲換能器貼片的制備流程圖

圖3 實(shí)驗(yàn)流程及設(shè)備展示

隨后，研究人員對(duì)電磁感應(yīng)和超聲散射分別進(jìn)行仿真。通過(guò)仿真驗(yàn)證了該傳感方法的可行性，并且系統(tǒng)地討論了各種類(lèi)型和尺寸的污染物對(duì)電磁感應(yīng)信號(hào)和超聲信號(hào)的影響。圖4為球形污染物沿傳感單元軸線(xiàn)移動(dòng)的模擬場(chǎng)景。

圖4 電磁感應(yīng)和超聲波傳感的仿真結(jié)果

最后，研究人員對(duì)集成的傳感單元進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。如圖5a~c所示，當(dāng)柔性超聲貼片以曲率半徑為14 mm彎曲時(shí)，聲場(chǎng)會(huì)產(chǎn)生聚焦效應(yīng)。在這種情況下，聲壓明顯高于其所在平面狀態(tài)下的聲壓。這種聚焦的聲場(chǎng)已被證明有利于加強(qiáng)對(duì)管道內(nèi)污染物的檢測(cè)。圖6展示了污染物類(lèi)型辨別的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。

圖5 柔性超聲換能器聲場(chǎng)特性

圖6 污染物類(lèi)型辨別的實(shí)驗(yàn)結(jié)果

綜上所述，這項(xiàng)研究提出了一種集成超聲單元和電磁感應(yīng)單元的傳感方法，用于實(shí)時(shí)檢測(cè)管道內(nèi)的各種污染物和流速。超聲波單元包括一個(gè)通過(guò)微機(jī)械技術(shù)制備的柔性換能器貼片，不僅便于安裝，還能聚焦聲場(chǎng)。此外，電磁傳感單元包含三個(gè)對(duì)稱(chēng)分布的電磁線(xiàn)圈。通過(guò)對(duì)超聲波和電磁感應(yīng)信號(hào)的綜合分析，該方法可以有效地區(qū)分磁性金屬（如鐵）、非磁性金屬（如銅）、非金屬顆粒（如陶瓷）和氣泡。這種全面的分類(lèi)幾乎涵蓋了管道中可能存在的所有污染物類(lèi)型。此外，通過(guò)超聲多普勒頻移可以確定流體速度。通過(guò)數(shù)學(xué)模型和有限元仿真驗(yàn)證了所提出的檢測(cè)原理的有效性。在直徑14 mm的管道內(nèi)，研究人員對(duì)各種不同速度的污染物進(jìn)行了系統(tǒng)地測(cè)試。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該傳感器能夠有效檢測(cè)0.5 ~ 3 mm范圍內(nèi)的污染物，準(zhǔn)確區(qū)分污染物類(lèi)型，并測(cè)量其流速。這項(xiàng)研究的影響可以擴(kuò)展到工業(yè)、航空航天和臨床醫(yī)學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域，因此具有更廣泛及深遠(yuǎn)的意義。